Luxe-empire.ru

Красота и Здоровье
0 просмотров
Рейтинг статьи
1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд
Загрузка...

Оператор прецизионной фотолитографии

Оператор прецизионной фотолитографии

Нажимая на кнопку «Позвоните мне!» я даю свое согласие на обработку персональных данных и принимаю условия соглашения

Выберите Ваш регион:

Введение
Мы стремимся уважать информацию личного характера, касающуюся посетителей нашего сайта. В настоящей Политике конфиденциальности разъясняются некоторые из мер, которые мы предпринимаем для защиты Вашей частной жизни.

Конфиденциальность информации личного характера
«Информация личного характера» обозначает любую информацию, которая может быть использована для идентификации личности, например, фамилия или адрес электронной почты.

Использование информации частного характера.
Информация личного характера, полученная через наш сайт, используется нами, среди прочего, для целей регистрирования пользователей, для поддержки работы и совершенствования нашего сайта, отслеживания политики и статистики пользования сайтом, а также в целях, разрешенных вами.

Раскрытие информации частного характера.
Мы нанимаем другие компании или связаны с компаниями, которые по нашему поручению предоставляют услуги, такие как обработка и доставка информации, размещение информации на данном сайте, доставка содержания и услуг, предоставляемых настоящим сайтом, выполнение статистического анализа. Чтобы эти компании могли предоставлять эти услуги, мы можем сообщать им информацию личного характера, однако им будет разрешено получать только ту информацию личного характера, которая необходима им для предоставления услуг. Они обязаны соблюдать конфиденциальность этой информации, и им запрещено использовать ее в иных целях.

Мы можем использовать или раскрывать Ваши личные данные и по иным причинам, в том числе, если мы считаем, что это необходимо в целях выполнения требований закона или решений суда, для защиты наших прав или собственности, защиты личной безопасности пользователей нашего сайта или представителей широкой общественности, в целях расследования или принятия мер в отношении незаконной или предполагаемой незаконной деятельности, в связи с корпоративными сделками, такими как разукрупнение, слияние, консолидация, продажа активов или в маловероятном случае банкротства, или в иных целях в соответствии с Вашим согласием.

Мы не будем продавать, предоставлять на правах аренды или лизинга наши списки пользователей с адресами электронной почты третьим сторонам.

Доступ к информации личного характера.
Если после предоставления информации на данный сайт, Вы решите, что Вы не хотите, чтобы Ваша персональная информация использовалась в каких-либо целях, связавшись с нами по следующему адресу: info@fgusertif.ru

Наша практика в отношении информации неличного характера. Мы можем собирать информацию неличного характера о Вашем посещении сайта, в том числе просматриваемые вами страницы, выбираемые вами ссылки, а также другие действия в связи с Вашим использованием нашего сайта. Кроме того, мы можем собирать определенную стандартную информацию, которую Ваш браузер направляет на любой посещаемый вами сайт, такую как Ваш IP-адрес, тип браузера и язык, время, проведенное на сайте, и адрес соответствующего веб-сайта.

Использование закладок (cookies).
Файл cookie — это небольшой текстовый файл, размещаемый на Вашем твердом диске нашим сервером. Cookies содержат информацию, которая позже может быть нами прочитана. Никакие данные, собранные нами таким путем, не могут быть использованы для идентификации посетителя сайта. Не могут cookies использоваться и для запуска программ или для заражения Вашего компьютера вирусами. Мы используем cookies в целях контроля использования нашего сайта, сбора информации неличного характера о наших пользователях, сохранения Ваших предпочтений и другой информации на Вашем компьютере с тем, чтобы сэкономить Ваше время за счет снятия необходимости многократно вводить одну и ту же информацию, а также в целях отображения Вашего персонализированного содержания в ходе Ваших последующих посещений нашего сайта. Эта информация также используется для статистических исследований, направленных на корректировку содержания в соответствии с предпочтениями пользователей.

Агрегированная информация.
Мы можем объединять в неидентифицируемом формате предоставляемую вами личную информацию и личную информацию, предоставляемую другими пользователями, создавая таким образом агрегированные данные. Мы планируем анализировать данные агрегированного характера в основном в целях отслеживания групповых тенденций. Мы не увязываем агрегированные данные о пользователях с информацией личного характера, поэтому агрегированные данные не могут использоваться для установления связи с вами или Вашей идентификации. Вместо фактических имен в процессе создания агрегированных данных и анализа мы будем использовать имена пользователей. В статистических целях и в целях отслеживания групповых тенденций анонимные агрегированные данные могут предоставляться другим компаниям, с которыми мы взаимодействуем.

Изменения, вносимые в настоящее Заявление о конфиденциальности.
Мы сохраняeм за собой право время от времени вносить изменения или дополнения в настоящую Политику конфиденциальности — частично или полностью. Мы призываем Вас периодически перечитывать нашу Политику конфиденциальности с тем, чтобы быть информированными относительно того, как мы защищаем Вашу личную информацию. С последним вариантом Политики конфиденциальности можно ознакомиться путем нажатия на гипертекстовую ссылку «Политика конфиденциальности», находящуюся в нижней части домашней страницы данного сайта. Во многих случаях, при внесении изменений в Политику конфиденциальности, мы также изменяем и дату, проставленную в начале текста Политики конфиденциальности, однако других уведомлений об изменениях мы можем вам не направлять. Однако, если речь идет о существенных изменениях, мы уведомим Вас, либо разместив предварительное заметное объявление о таких изменениях, либо непосредственно направив вам уведомление по электронной почте. Продолжение использования вами данного сайта и выход на него означает Ваше согласие с такими изменениями.

Читать еще:  Оператор пвэм расшифровка

Рабочая инструкция оператору прецизионной фотолитографии (4-й разряд)

Открыть документ в галерее:

Текст документа:

1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

1. Оператор прецизионной фотолитографии принимается на работу и увольняется с работы приказом руководителя организации по представлению ________________.

2. Оператор прецизионной фотолитографии подчиняется _____________________.

3. В своей деятельности оператор прецизионной фотолитографии руководствуется:

— правилами трудового распорядка;

— приказами и распоряжениями руководителя организации (непосредственного руководителя);

— настоящей рабочей инструкцией.

4. Оператор прецизионной фотолитографии должен знать:

— устройство, правила наладки и проверки на точность поддержания технологических режимов обслуживаемых установок и автоматов;

— правила настройки микроскопов;

— способы приготовления и корректирования проявляющих и других растворов;

— технологический процесс изготовления изделий (транзисторы, твердые схемы);

— причины изменения размеров элементов, неровности краев, недостаточной их резкости и методы их устранения;

— фотохимический процесс проявления фоточувствительных эмульсий;

— способы определения дефектов на эталонных и рабочих фотошаблонах;

— общие сведения по электротехнике, оптике и фотохимии.

2. ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЕ ОБЯЗАННОСТИ

5. Оператору прецизионной фотолитографии поручается:

5.1. Проведение всего цикла фотолитографических операций с разными материалами на одном образце с точностью совмещения +/-2 мкм.

5.2. Травление многослойных структур (Al-Mo-Al) и сложных стекол (ФСС, БСС).

5.3. Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления и травления в зависимости от применяемых материалов.

5.4. Отмывка фотошаблонов, нанесение и сушка фоторезиста, проявление, задубливание, травление на автоматических линиях.

5.5. Определение толщины фоторезиста и глубины протравленных элементов с помощью профилографа и профилометра.

5.6. Определение адгезии фоторезиста и плотности проколов с помощью соответствующих приборов.

5.7. Замер линейных размеров элементов под микроскопом.

5.8. Совмещение маски и фотошаблона по реперным модулям и элементам.

5.9. Определение процента дефектных модулей на фотошаблоне в процессе эксплуатации.

5.10. Ретушь копии схемы с помощью микроскопа.

5.11. Аттестация геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопа с точностью +/-3 мкм; на фотошаблоне — с точностью +/-0,2 мкм.

5.12. Проведение процесса двухсторонней фотолитографии.

5.13. Определение неисправностей в работе установок и автоматического оборудования и принятие мер по их устранению.

1. Диоды, ВЧ-транзисторы, фотошаблоны с размерами элементов более или равными 10 мкм — проведение всего цикла фотолитографических операций.

2. Заготовки масок — электрохимическое никелирование.

3. Микросхемы интегральные гибридные типа «Посол» — проведение экспонирования с предварительным совмещением, травление.

4. Микротранзисторы, микросхемы и твердые схемы — проведение полного цикла фотохимических операций при изготовлении.

5. Пластины — проведение полного цикла фотолитографических операций, защита фоторезистом; не планарная сторона пластин — защита.

6. Пластины ИС стеклянные с размерами элементов более 10 мкм — контроль качества проявления, травления.

7. Пластины, фотошаблоны после фотолитографии — контроль качества поверхности под микроскопом МБС.

8. Платы печатные, микросхемы СВЧ, сетки молибденовые и вольфрамовые — травление.

9. Подложки, подложки ситалловые, микросхемы СВЧ — нанесение фоторезиста с помощью центрифуги с контролем оборотов по графику, определение толщины слоя фоторезиста.

10. Поликремний — проведение полного цикла фотолитографии.

11. Проведение процесса фотолитографии для получения рельефа из напыленных металлов: ванадий + молибден + алюминий с предварительным совмещением заданной точности.

12. Проекционная фотолитография — подбор экспозиции и резкости на установках проекционной фотолитографии.

13. Сетки мелкоструктурные — изготовление.

14. Теневые маски для цветных кинескопов — контроль качества отверстий и поверхностей, исправление дефектов под микроскопом.

15. Фотошаблоны — контроль качества поверхности под микроскопом МБС или МБИ-11; контроль размеров на соответствие паспортным данным под микроскопом МИИ-4.

Читать еще:  Оператор отдела логистики обязанности

16. Фотошаблоны эталонные — изготовление.

3. ПРАВА

6. Оператор прецизионной фотолитографии имеет право:

6.1. Требовать прохождения периодических инструктажей по охране труда.

6.2. Иметь необходимые для работы инструкции, инструмент, индивидуальные средства защиты и требовать от администрации обеспечения ими.

6.3. Знакомиться с правилами внутреннего трудового распорядка и коллективным договором.

6.4. Вносить предложения по совершенствованию технологии работы.

4. ОТВЕТСТВЕННОСТЬ

7. Оператор прецизионной фотолитографии несет ответственность:

7.1. За неисполнение (ненадлежащее исполнение) своей работы, в пределах, определенных действующим трудовым законодательством Республики Беларусь.

7.2. За совершенные в процессе осуществления своей деятельности правонарушения — в пределах, определенных действующим административным, уголовным и гражданским законодательством Республики Беларусь.

7.3. За причинение материального ущерба — в пределах, определенных действующим трудовым, уголовным и гражданским законодательством Республики Беларусь.

КОММЕНТАРИЙ

Рабочая инструкция разработана в соответствии с Единым тарифно-квалификационным справочником работ и профессий рабочих (Выпуск 20), Раздел: Общие профессии электронной техники, утвержденным постановлением Министерства труда Республики Беларусь от 28.05.1999 N 68.

Данная инструкция является примерной. Она может применяться как основа при разработке соответствующей инструкции работника с учетом специфики деятельности организации.

Оператор прецизионной фотолитографии

Нажимая на кнопку «Позвоните мне!» я даю свое согласие на обработку персональных данных и принимаю условия соглашения

Выберите Ваш регион:

Введение
Мы стремимся уважать информацию личного характера, касающуюся посетителей нашего сайта. В настоящей Политике конфиденциальности разъясняются некоторые из мер, которые мы предпринимаем для защиты Вашей частной жизни.

Конфиденциальность информации личного характера
«Информация личного характера» обозначает любую информацию, которая может быть использована для идентификации личности, например, фамилия или адрес электронной почты.

Использование информации частного характера.
Информация личного характера, полученная через наш сайт, используется нами, среди прочего, для целей регистрирования пользователей, для поддержки работы и совершенствования нашего сайта, отслеживания политики и статистики пользования сайтом, а также в целях, разрешенных вами.

Раскрытие информации частного характера.
Мы нанимаем другие компании или связаны с компаниями, которые по нашему поручению предоставляют услуги, такие как обработка и доставка информации, размещение информации на данном сайте, доставка содержания и услуг, предоставляемых настоящим сайтом, выполнение статистического анализа. Чтобы эти компании могли предоставлять эти услуги, мы можем сообщать им информацию личного характера, однако им будет разрешено получать только ту информацию личного характера, которая необходима им для предоставления услуг. Они обязаны соблюдать конфиденциальность этой информации, и им запрещено использовать ее в иных целях.

Мы можем использовать или раскрывать Ваши личные данные и по иным причинам, в том числе, если мы считаем, что это необходимо в целях выполнения требований закона или решений суда, для защиты наших прав или собственности, защиты личной безопасности пользователей нашего сайта или представителей широкой общественности, в целях расследования или принятия мер в отношении незаконной или предполагаемой незаконной деятельности, в связи с корпоративными сделками, такими как разукрупнение, слияние, консолидация, продажа активов или в маловероятном случае банкротства, или в иных целях в соответствии с Вашим согласием.

Мы не будем продавать, предоставлять на правах аренды или лизинга наши списки пользователей с адресами электронной почты третьим сторонам.

Доступ к информации личного характера.
Если после предоставления информации на данный сайт, Вы решите, что Вы не хотите, чтобы Ваша персональная информация использовалась в каких-либо целях, связавшись с нами по следующему адресу: info@fgusertif.ru

Наша практика в отношении информации неличного характера. Мы можем собирать информацию неличного характера о Вашем посещении сайта, в том числе просматриваемые вами страницы, выбираемые вами ссылки, а также другие действия в связи с Вашим использованием нашего сайта. Кроме того, мы можем собирать определенную стандартную информацию, которую Ваш браузер направляет на любой посещаемый вами сайт, такую как Ваш IP-адрес, тип браузера и язык, время, проведенное на сайте, и адрес соответствующего веб-сайта.

Использование закладок (cookies).
Файл cookie — это небольшой текстовый файл, размещаемый на Вашем твердом диске нашим сервером. Cookies содержат информацию, которая позже может быть нами прочитана. Никакие данные, собранные нами таким путем, не могут быть использованы для идентификации посетителя сайта. Не могут cookies использоваться и для запуска программ или для заражения Вашего компьютера вирусами. Мы используем cookies в целях контроля использования нашего сайта, сбора информации неличного характера о наших пользователях, сохранения Ваших предпочтений и другой информации на Вашем компьютере с тем, чтобы сэкономить Ваше время за счет снятия необходимости многократно вводить одну и ту же информацию, а также в целях отображения Вашего персонализированного содержания в ходе Ваших последующих посещений нашего сайта. Эта информация также используется для статистических исследований, направленных на корректировку содержания в соответствии с предпочтениями пользователей.

Читать еще:  Оператор пк в ночь спб

Агрегированная информация.
Мы можем объединять в неидентифицируемом формате предоставляемую вами личную информацию и личную информацию, предоставляемую другими пользователями, создавая таким образом агрегированные данные. Мы планируем анализировать данные агрегированного характера в основном в целях отслеживания групповых тенденций. Мы не увязываем агрегированные данные о пользователях с информацией личного характера, поэтому агрегированные данные не могут использоваться для установления связи с вами или Вашей идентификации. Вместо фактических имен в процессе создания агрегированных данных и анализа мы будем использовать имена пользователей. В статистических целях и в целях отслеживания групповых тенденций анонимные агрегированные данные могут предоставляться другим компаниям, с которыми мы взаимодействуем.

Изменения, вносимые в настоящее Заявление о конфиденциальности.
Мы сохраняeм за собой право время от времени вносить изменения или дополнения в настоящую Политику конфиденциальности — частично или полностью. Мы призываем Вас периодически перечитывать нашу Политику конфиденциальности с тем, чтобы быть информированными относительно того, как мы защищаем Вашу личную информацию. С последним вариантом Политики конфиденциальности можно ознакомиться путем нажатия на гипертекстовую ссылку «Политика конфиденциальности», находящуюся в нижней части домашней страницы данного сайта. Во многих случаях, при внесении изменений в Политику конфиденциальности, мы также изменяем и дату, проставленную в начале текста Политики конфиденциальности, однако других уведомлений об изменениях мы можем вам не направлять. Однако, если речь идет о существенных изменениях, мы уведомим Вас, либо разместив предварительное заметное объявление о таких изменениях, либо непосредственно направив вам уведомление по электронной почте. Продолжение использования вами данного сайта и выход на него означает Ваше согласие с такими изменениями.

Фотолитография

Прецизионная фотолитография — процесс формирования на поверхности подложки элементов приборов микроэлектроники с помощью чувствительных к высокоэнергетическому излучению покрытий, способных воспроизводить заданное взаимное расположение и конфигурацию этих элементов.

Виды фотолитографии:

1. Контактная

Контактная фотолитография традиционно используется для решения задач R&D, пилотного и мелкосерийного производства с топологической нормой порядка 1 мкм. Оборудование для контактной литографии значительно проще и дешевле оборудования для проекционной, лазерной и электронно-лучевой литографии. В процессе контактной литографии фотошаблон непосредственно соприкасается с полупроводниковой пластиной, на поверхность которой нанесён фоторезист. Засветка рисунка топологии происходит при помощи ртутной лампы. Длина волны излучения лампы определяет минимальный размер топологического элемента на подложке (длины волны от 220-280нм — DUV до 350-400нм — UV). Типичное значение разрешения для современных установок контактного совмещения-экспонирования:

Основным недостатком контактной фотолитографии является ограниченное число контактных циклов (как правило, не более и уменьшение показателя выхода годных изделий с ростом числа контактных циклов. Чтобы минимизировать ущерб от контактирования был разработан метод литографии с зазором, где фотошаблон отстоит от пластины на несколько микрометров. Метод позволяет экспонировать целую пластину за одну засветку, что делает его незаменимым при серийном производстве элементов с топологической нормой порядка 1 мкм.

2. Проекционная фотолитография

Проекционная фотолитография используется при серийном производстве полупроводниковых приборов. В данном случае использование контактной литографии невозможно, так как минимальный размер топологического элемента современных приборов (менее 20нм) меньше предельного разрешения систем контактной литографии. Кроме того, диаметр используемых на производстве пластин намного больше (300мм для кремния) — совмещение эскпонирование и засветку пластины реализовать гораздо сложнее, а контакт с шаблоном сильно влияет на воспроизводимость процесса. Поэтому на производстве устанавливают машины, работающие по проекционному принципу: изображение с фотошаблона переносится (проецируется) на полупроводниковую подложку с помощью оптических систем — проекционных объективов. При этом засвечивается не вся пластина, а только один элемент за шаг. Для засветки всей пластины необходимо количество шагов равное количеству элементов на пластине. Поэтому проекционные установки часто называют «stepper» от англ. — шаг.

Преимущества метода заключается в отсутствии механического контакта фотошаблона со слоем фоторезиста на подложке: повреждения фотошаблона не происходит, и его срок службы значительно увеличивается. Также благодаря тому, что проецирование происходит через объектив (обычно десятикратный), и в установках возможно использовать иммерсионную оптику, рабочее разрешение может достигать значений менее 20нм.

Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector